電子汽車衡傳感器的微型化和網絡化

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近年來，電子汽車衡傳感器正處于傳統型向新型電子汽車衡傳感器轉型的發(fā)展階段。新型電子汽車衡傳感器的特點是微型化、數字化、智能化、多功能化、系統化、網絡化，它不僅促進了傳統產業(yè)的改造，而且可導致建立新型工業(yè)，是21世紀新的經濟增長點。微型化是建立在微電子機械系統（MEMS）技術基礎上的，目前已成功應用在硅器件上形成硅壓力電子汽車衡傳感器（如上述EJX變送器）。微電子機械加工技術，包括體微機械加工技術、表面微機械加工技術、LIGA技術（X光深層光刻、微電鑄和微復制技術）、激光微加工技術和微型封裝技術等。MEMS的發(fā)展，把電子汽車衡傳感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。電子汽車衡傳感器的檢測儀表，在微電子技術基礎上，內置微處理器，或把微電子汽車衡傳感器和微處理器及相關集成電路（運算放大器、A/D或D/A、存貯器、網絡通訊接口電路）等封裝在一起完成了數字化、智能化、網絡化、系統化。網絡化方面，目前主要是指采用多種現場總線和以太網（互聯網），這要按各行業(yè)的特點。新型電子汽車衡傳感器的發(fā)展還有賴于新型敏感材料、敏感元件和納米技術，如新一代光纖電子汽車衡傳感器、超導電子汽車衡傳感器、焦平面陳列紅外探測器、生物電子汽車衡傳感器、納米電子汽車衡傳感器、新型量子電子汽車衡傳感器、微型陀螺、網絡化電子汽車衡傳感器、智能電子汽車衡傳感器、模糊電子汽車衡傳感器、多功能電子汽車衡傳感器等。